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Mask AOI

Mask AOI

Mask AOI,用于檢測wafer mask的glass side/pellicle side表面particle,Class 1無塵等級,曝光前后瑕疵管控,可針對Particle大小進行分類。

Mask AOI
技術參數
  • 功能

    檢測wafer mask 的glass side/pellicle side表面particle

  • 產品尺寸

    6"wafer 光罩——玻璃:152×152mm;薄膜:149×113mm

  • 精度

    >1μm particle檢出

  • 檢測類型

    異物,指紋,酒精痕,絮狀物,油漬,劃傷,針孔等缺陷

  • 技術優勢

    Class 1無塵等級,曝光前后瑕疵管控,可針對Particle大小進行分類

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