- 功能
檢測wafer mask 的glass side/pellicle side表面particle
- 產品尺寸
6"wafer 光罩——玻璃:152×152mm;薄膜:149×113mm
- 精度
>1μm particle檢出
- 檢測類型
異物,指紋,酒精痕,絮狀物,油漬,劃傷,針孔等缺陷
- 技術優勢
Class 1無塵等級,曝光前后瑕疵管控,可針對Particle大小進行分類
Mask AOI
Mask AOI,用于檢測wafer mask的glass side/pellicle side表面particle,Class 1無塵等級,曝光前后瑕疵管控,可針對Particle大小進行分類。

技術參數
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